溅射设备相关论文
根据淀积高科技术课题所需的铂薄膜及淀积各种其它金属、合金和绝缘体薄膜的需要，提出了研制有良好均匀性、低沾污及有较好通用性的......
蓝膜一太阳光谱选择性吸收涂层，本文针对生产蓝膜的卷对卷镀膜设备在沉积构成蓝膜膜系一吸收、减反(光学干涉)、精确控制、性能......
本文回顾了三极反应磁控偏压溅射设备的初始结构及枪黑色膜层工艺的由来，并究其实质---为什么黑的本质做了初步探讨，认为这是一个很......
据美国市场调查数据公司 (Ｄａｔａｑｕｅｓｔ)对 1 999— 2 0 0 2年设备部分复合年均增长率的市场预测表明 ,2 0 0 1年片子制造设备费用由 2 0 0 0年......
PMMA光盘基片材料的历史背景 PMMA(Polymethyl Methacrylate,中文学名是聚甲基丙烯酸甲酯,俗称有机玻璃)早在1980年就被用来制造......
历经14个月的建设,Vitro玻璃集团位于美国德克萨斯州Wichita Falls的大型磁控溅射镀膜玻璃生产线正式投入生产运营。据悉,该机器也......
半导体工艺进入０．２５μｍ时代，对溅射设备的微细化技术要求逐步接近极限，同时，设备投资效率的提高也是一个十分的关键环节，不仅要提高产量，还要......
对溅射原理进行了详细的分析,对溅射设备的结构组成进行了概括性的说明。研究了溅射腔室的传统工艺处理流程,并提出了新的工艺处理......
