源气体相关论文
以高纯石墨作靶、CHF3/Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备出了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.拉曼光谱表明,CHF3相对流量的增加会引起薄......
源气体及组分的选择是硅槽刻蚀技术的关键因素。本文介绍了刻蚀过程中源气体及组分对硅的作用方式，从刻蚀速率、侧壁钝化、损伤、刻......
德阳市盛源气体有限责任公司是由现任CEO谢先富1999年亲手创办的从事各类工业气体研发和销售的专业公司，经过十年努力，目前已成为德......
四川侨源气体股份有限公司成立于2002年9月，坐落于美丽如画的四川省都江堰市。作为一家高科技节能环保企业，自成立以来一直专注于氧......
