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掺杂硅纳米薄膜法向热导率的分子动力学模拟
采用非平衡态分子动力学方法计算了平均温度为300K时膜厚2.2~104.4nm的硅纳米薄膜以及掺锗的硅纳米薄膜的法向热导率.采用随机掺杂......
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硅纳米薄膜
热导率
掺杂
分子动力学
声子平均自由程
热导率累积函数
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