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热振动噪声相关论文
微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响
研究了具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响。通过理论计算和ANSYS模拟,分析了......
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红外成像器件
热-机械灵敏度
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热振动噪声
机械稳定性
微机械
infrared imaging device thermal-mechanical s
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