热粘性声学相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

热粘性声学相关论文

基于热粘性声学的电容式声压水听器

针对水下设备平台对于声压信号探测的需要,设计了一款微电子机械系统(MEMS)电容式声压水听器,通过理论分析和Comsol仿真分析,确定......

期刊

电容式声压水听器热粘性声学振动薄膜牺牲层阳极键合

基于MEMS电容式声压水听器的设计及关键工艺技术研究

声压水听器作为水下声压探测的核心器件在水声探测、海洋监测以及水下军事等领域发挥着重要的作用。本文设计的MEMS电容式声压水听......

学位

MEMS 声压水听器热粘性声学牺牲层阳极键合

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