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击穿电荷(QBD):监测E~2PROM中超薄隧道氧化层的一种方法(英文)
本文采用恒定电流应力的QBD测试来描述超薄隧道氧化层的质量。E2PROM失效的内在机理是由于隧道氧化层中的电荷陷阱。并同时绘出了QBD的测试方法......
期刊
氧化层
QBD
PROM
绝缘可靠性
电可改写存贮器
测试方法
恒定电流
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