电子刻蚀相关硕士博士期刊学术论文

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综述了以双环戊二烯(DCPD)、六氯环戊二烯(HCCPD)或八氯环戊烯(OCP)为起始原料合成1,2-二氯六氟环戊烯(F6-12)、1,3-二氯六氟环戊......

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