摘 要：本文简要介绍三路电容的作用与调谐原理，同时对150 kW PSM发射机三路电容的跑位过大引起的故障分析；并说明了三路电容的调整定......

新型二维电容位置传感器ＭＨｗ。Ｂｏｎｓｅ等１．前盲目前，人们对二维（ＺＤ）位置测量越来越感兴趣。尤其是在ＩＣ生产、生物医学和各种显微技术领域中。迄今，基本的......