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具有电荷补偿层的4H-SiC/Si/Si1-xGex光控晶体管的研究
4H-SiC材料具有很多优点,但其仅对紫外光有明显吸收,对可见光及红外光不敏感,使4H-SiC光电子器件在应用中受到很大的限制。利用异质结......
学位
SiC/Si/Si1-xGex材料
异质结
光控晶体管
光响应度
电荷补偿层
优化设计
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