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直拉炉相关论文

利用装置环形永磁场的直拉炉（PMCZ）生长单晶硅和掺锗硅晶体

设计了一种永磁（钕铁硼）环形磁场装置代替常规电磁场用于直拉炉生长单晶硅和掺锗单晶硅（PMCZ法）。磁力线呈水平辐射状均匀分布。......

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永磁场直拉炉锗硅单晶单晶硅掺杂 PMCZ weightlessness GeSi crystal thermal convection

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