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直流/射频混合和双频柱面天线感性耦合等离子体实验研究
射频感性耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)源因具有密度高、装置结构简单以及均匀性良好等优点,在大规模集成电路制造......
学位
柱面天线ICP
直流增强
双频感性放电
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