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微米和纳米尺度上表面性质的微调控和表面结构的微加工在当代科学和技术的发展中扮演着越来越重要的角色,许多现代技术的发展机会......
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利用波长为172nm的真空紫外光刻蚀技术（Vacuum ultraviolet lithography,VUV）对聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）薄膜的表面进行了图案化微加工,......
