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石英音叉测头相关论文
基于坐标测量的石英音叉测头误差分析及标定
微纳制造业的迅猛发展,也带动着测量技术的不断提高。原子力显微镜和三坐标测量机等也以其各有的优势在不同测量领域得到广泛的应......
学位
三坐标测量机
石英音叉测头
谐振频率
误差分析
测头标定
基于石英音叉测头的三维纳米测量与定位实验研究
近年来,微细加工技术快速发展使得产品的导向趋于微型化,出现各种微型机械和MEMS器件。这些微型机械的几何特征尺寸在数十微米至数毫......
学位
石英音叉
钨探针
纳米定位
振幅反馈
扫描探针显微镜
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