以谐振技术为敏感机理的硅微机械谐振传感器一直是国内外MEMS(Microelectromechanical System)传感器的研究重点之一，其中采用光激......

分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ,建立了相应的数学模型 ,并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过......

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空......