硅微细加工相关论文
本文完成了微型泵和微型阀的研制及其性能测试，解决了体硅异向腐蚀等几个关键工艺技术难题，建立了微型阀的结构-流体耦合模型并进行......
本文介绍了所研制的微机械零件、微型单向阀、微型致动器及微型泵等多种微型机械器件。微机械零件包括微涡轮、微弹簧、微传动齿轮......
针对微机械三维结构对准分子激光直写微细加工的要求，在试验研究基础上，讨论了硅已加工表面形貌、加工热与热影响区等特性，得出了加工......
利用硅微细加工工艺制作出热致动微型泵，该泵采用薄膜型准对称结构设计及双面双金属驱动方式，它具有体积较小、工艺简单、易于集成，效......
微型泵是一种重要的微型执行器，在微流体供给和控制、微量元素分析、芯片冷却系统等方面将有重要应用。本文利用硅微细加工技术制作......
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微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础。本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用......
微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上,论......
