硅微结构相关论文
近红外探测器在信息技术及生物医学等诸多领域具有广泛的应用,但通常面临高成本滤光片以及复杂光学系统设计和集成等诸多问题。硅......
分析了光激励谐振器振动的检测问题，用调制激光束激励谐振器使其发生振动，并采用光学干涉的方法测量了这种微振动。......
KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐蚀技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃的PN结自致蚀停的基本特性，......
本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器，其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热作用下产生谐振，被测物理参数使谐振......
自从1992年研究人员首次发现硅微结构会发生疲劳以来,国内外进行了大量相关研究,但硅微结构的疲劳失效影响因素仍不明确,疲劳失效......
采用压阻式原理振动传感器的加速度敏感芯片是基于MEMS工艺技术制造,敏感芯片的硅微结构要具有良好的弹性形变性能和显著的压阻效......
该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模......
全光纤-谐振传感技术是80年代中期出现的一种新型传感技术。由于它兼有光纤、谐振传感技术和硅微结构的优点，因而被认为在航空、过......
该文针对一种新型的谐振式硅微结构压力传感器进行优化设计.该传感器的敏感结构没有采用较为常见的方形膜片,而是采用矩形膜片作为......
随着便携式电子元器件的需求不断增加，对器件的体积、灵敏度、能耗和集成度等提出了更高的要求，能源供应也成为限制器件微小型化的重......
谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压......
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺，研究了四甲基氢氧化铵（TMAH）腐蚀液的特性，包括硅（100）晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫......
讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的硅微结构设计和分析，并针对典型的弹性质量系统，建立了其过载变形的模型，给出了用......
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,......
针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件 ;采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器 ,分析了其工作机......
本文介绍了一种可以形成新型光纤传感器的微型硅谐振器，其基本原理是微型硅谐振器在调制光的光热艇下产生谐振，被测物理参数使谐振频......
众所周知，基于成本，性能，耐用性和优秀的机械性能及电特性，硅成为高性能微结构的基本材料，无数的市场调查和计划证实在过去２０年间硅有许多......
ＫＯＨ碱性蚀液的ＰＮ结自致蚀停电化学腐 技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在９０℃下的ＰＮ结自致蚀停的基本特性，并发展了......
针对甲醇燃料电池的不足,燃料电池开发商Neah Power Systems公司(位于美国华盛顿州Bothell)研制的一种硅电极架构改进了基于PEM的......
基于直接键合硅片表面能与退火温度的关系曲线，定量讨论了键合时键合界面上的微观动力学变化过程。首次提出五阶段键合模型计算值与......
近日，继美国赛普拉斯半导体（Cypress），日本理光微电子（Ricoh），德国威科电子（Vincotech）之后，世强的产品阵容再添一员“猛将”——美国硅微结......
针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构,利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算.分析并得出......
全光纤－谐振传器技术是８０年代中期出现的一种新型传感器技术，由于它兼有光纤、谐振传感技术和硅微结构的优点，因而被认为在航空、医学等......
本文从理论上和实验上对硅压阻式加速度传感器的三种结构：悬臂梁、四梁和双岛－五梁的空气阻尼问题进行了研究，在这三种结构中，四梁结构......
硅微机械力敏器件在封装时往往采用硅－玻璃静电键合的方法。但在静电键合时静电力也往往作用于不需要键合的结构部分。并可能引起这......
提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构，其一次敏感元件为矩形硅膜片，膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁，间接感受压力......
本文提出了一种新颖的可获取差动检测信号的集成化硅微光纤传感器结构。该结构使困难的硅微光纤传感器的装调及封装过程大为简化，能......
针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁为二次谐振敏感元件的热激励硅微结构压力传感器的实际结构,分析了其工作机理和产生热......
讨论了一 执 式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件。......
本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐......
对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究，建立了微传感器敏感结......
本文给出一种硅谐振梁式压力传感器的敏感结构：以２×２ｍｍ２的方形硅膜片直接敏感被测压力，膜片的上表面架设有６００×５０×５μｍ３两端固支的硅谐振梁，间接......
本文突破传统阻容分压、电阻分压电压传感器的设计思路,基于MEMS加工技术,设计了一种十字梁结构膜片,建立了数学模型,利用有限元分......
本文采用了采用ＰＷＭ静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成，分析了其工作机理，提出了其基本的检测原理。采用ＰＷＭ检测技术，使微弱、低频信......
美国《Laser Focus World》杂志报道，普通的硅光电二极管对1330nm和1550nm电信波长是不响应的。然而，美国哈佛大学研究人员开发的一......
对均匀间隙和不均匀间隙式电容传感器的稳定性进行了分析，给出了这两种临界极化电压及可动系统临界位移的计算方法，并针对实际传感器......
三维高深宽比硅基结构是基于微纳制造技术的功能载体或执行机构。其由于小尺寸特征而获得特殊的微纳效应,具有灵敏度高、分辨率高......
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,......
