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ICP刻蚀硅模板用于PDMS规则超疏水表面的制作
在ICP(inductively coupled plasma)刻蚀后的硅模板上复制聚二甲基硅氧烷(PDMS),经剥离得到含有一定尺寸的规则微柱阵列疏水表面.实验......
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