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激光辐照加工的硅氧化结构的受激发光
我们用1064nm脉冲激光在硅表面加工出小孔结构,再作高温退火处理形成硅氧化纳米结构,发现该结构在692和694nm波长处有很强的光致受激......
期刊
激光辐照
受激发光
氧化
硅界面态
laser irradiation
stimulated emission
oxide structure of sil
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