硅谐振梁相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

硅谐振梁相关论文

单片硅微谐振器的研究

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会议

单片硅微谐振器单晶硅微加工技术三维加工硅谐振梁一体化牺牲层梁模型制作设计基础表面

硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化

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硅谐振梁压力微传感器边界结构

微型硅谐振式压力传感器的研制

利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大......

期刊

微电子机械加工技术硅谐振梁压力传感器

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