硅铝异质结构相关论文
一直以来,汽车交通事故频发对人们的生活造成了严重影响,而汽车行驶安全易受轮胎影响。胎内气压和温度异常时会有爆裂的危险,因此......
MEMS压阻式压力传感器是在气象探测和车联网等领域有着重要应用的前向通道接口。传统硅基压力传感器普遍具有低灵敏度、温度漂移和......
传统硅基压力传感器普遍具有灵敏度低、温漂和时漂明显等半导体器件固有属性。本文提出的硅铝异质结构MEMS压力传感器及其恒温控制......
金属半导体异质混合结构是一种特殊的压阻结构,其具有高于传统MEMS压阻式压力传感器的压阻性能。鉴于此,设计和研究了一种由掺杂单......
