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磁针尖相关论文
用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作及端头磁针尖设计
提出一种用于单电子自旋探测微悬臂梁的制作方法。采用顶层Si厚度为1μm的SOI硅片,在器件层刻蚀出悬臂梁图形后,利用热氧化将Si梁......
期刊
磁共振力显微镜
悬臂梁
磁针尖
电子自旋
MRFM
cantilever
magnetic tip
electron spin
高灵敏微悬臂梁探针设计制作及特性研究
微悬臂梁作为微机电系统(Microelectromechanical system, MEMS)中常用的微传感器,被广泛应用于力检测、质量检测、加速度检测、气......
学位
微悬臂梁
品质因数
热机械噪声
端头质量
MRFM
磁针尖
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