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磨粒团聚相关论文
静电作用调控下SiC材料的抛光研究
随着半导体电子器件、空间光学反射镜、汽车工业和航空航天的迅速发展,碳化硅材料因其良好的机械性能和化学稳定性,在各个领域得到......
学位
碳化硅
材料去除率
静电作用调控
磨粒团聚
表面质量
钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺
钇铝石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)是性能优良的激光晶体,但其属于硬脆材料(莫氏硬度8.5),在抛光时易产生划痕及凹坑等缺陷。为......
期刊
磨粒团聚
平面度
表面粗糙度
抛光盘转速
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