离子束刻蚀法相关论文
该文分析了离子束刻蚀法用于多台阶衍射光学零件(DOE)制作中与刻蚀速率有关的影响因素及工艺参数的选取，并提出了一种有效的定标方......
由于铁电薄膜材料优异的电学性能、稳定的温度特性和丰富的材料体系,近年来,基于硅工艺的铁电器件在微电子机械系统、新能源光伏,......
微透镜阵列在光路中可以发挥二维并行的会聚、发散、准直、成像和传输变换等作用，它具有排列精度高，制作方便可靠，易于与其它平面器件......
从理论和实验两方面入手 ,系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺 ,分析了微透镜阵列的面形结构 ,得到了联系微透镜阵列矢高......
从理论和实验两方面入手，系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺，分析了微透镜阵列的面形结构，得到了联系微透镜阵列矢高与制作......
在高温超导滤波器的制备过程中,针对所使用的高温超导薄膜的特点,采用了两种刻蚀方法——湿化学刻蚀法和离子束刻蚀法,设计对比了......
