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离子束沉积修正抛光相关论文
KDP晶体抛光机理与工艺研究
光学晶体磷酸二氢钾(Potassium Dihydrogen Phosphate以下简称KDP)是一种性能优良的非线性光学晶体,是目前高能激光光路系统中唯一......
学位
KDP晶体
抗激光损伤阈值
离子束刻蚀抛光
离子束沉积修正抛光
表面粗糙度
晶体表面的离子束刻蚀机理研究
随着科学技术的发展,空间光学元件、高功率激光器、X射线光学系统得到越来越多的应用,同时集成电路也向着大规模以及超大规模发展,......
学位
晶体
离子束刻蚀
抛光
离子束沉积修正抛光
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