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种籽层相关论文
基于40nm技术大马士革铜电镀工艺通孔空洞缺陷的改善
随着半导体器工艺节点的不断刷新新低,互连技术对芯片最终的质量影响越来越大,主要体现在可靠性、延迟、能耗等性能。自130nm技术......
学位
电镀铜
铜互连
种籽层
酸性溶液
空洞缺陷
脉冲电流
钛表面种籽层水热沉积制备羟基磷灰石生物涂层
为了获得与基体结合强度高、生物活性好的羟基磷灰石(HAP)涂层,通过种籽层水热沉积方法在钛合金表面生长HAP,首先纳米尺寸的钙磷盐......
期刊
羟基磷灰石生物涂层
水热沉积法
钛表面种籽层
生物活性
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