空气静压电主轴相关论文
止推轴承是切割机空气静压电主轴的关键零件，止推轴承的结构及尺寸直接影响主轴的工作性能和稳定性。采用表压比法对切割机空气静压......
空气静压电主轴以空气静压轴承支承、以电机或者涡轮为动力驱动,能够实现高速精密加工,具有回转精度高、振动小、转速高等特点,获......
空气静压电主轴是数控机床的关键功能部件之一,主要围绕其动态特性进行分析研究。首先,针对空气静压电主轴结构及轴承结构进行分析......
径向轴承是划片机空气静压电主轴的关键零件,径向轴承的结构及尺寸直接影响转轴的高速旋转精度及工作性能。采用表压比法对划片机......
分析了空气静压电主轴的热源和热传递：用ANSYS模拟电主轴的温度场分布及热变形；通过多步载荷的选取对比分析结果，得出了不同冷却部位......
空气静压电主轴将转轴与电机转子过盈联接,实现了主轴的零传动,转轴与电机转子间的过盈量是影响主轴性能的重要因素。根据力学理论......
径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用......
划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转......
划片是电子器件封装工艺中重要的工艺之一，是将一整片晶圆切割成独立的个体，芯片切割的质量直接影响着封装质量和器件性能。现结合多......
根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自......
<正>八项半导体设备被评为2013年度的中国半导体设备创新产品2014年1月21日中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国......
从划片机空气静压电主轴的结构出发，分析了主轴的技术要求，提出了主轴材料选用的基本原则，介绍了划片机主轴的常用材料，重点论述了划片......
