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等价杂质锗相关论文
等价杂质锗对直拉硅中氧及沉淀行为的影响机理研究
该文通过X射线双晶衍射、化学腐蚀观察、高压透射分析电子显微镜等方法对掺锗者直拉硅中氧的沉淀行为进行了较为系统的研究,着重分......
学位
直拉硅
等价杂质锗
氧沉淀
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