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针对目测法无法及时发现直拉单晶硅在等径生长阶段发生的掉苞问题,提出一种基于ISOMAP-DE-SVM的掉苞预测模型,可以在掉苞现象发生之......
在激光晶体生长等径控制过程中,有两个关键环节:测径数据采集系统和控制算法。晶体生长是在数千度的高温下进行的,采用常规的测径方法......
针对单晶等径生长过程中主要是对系统的温度和晶体测径环节的控制,介绍了一种基于模糊控制与PID算法的CZ法单晶等径生长控制系统,......
在泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶的过程中,为了获得高质量的晶体,精确等径控制至关重要。本文根据晶体的重量变化率来控制热场,实现......
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