等离子体发光谱相关硕士博士期刊学术论文

研究了掺杂剂对p型微晶硅窗口材料生长的影响．实验发现，与B(CH3)3不同，B2H6作为微晶硅掺杂剂时，掺硼量对材料的晶化率和生长速率有重要......