等离子增强磁控溅射相关论文
本文探究了 Cr过渡层及Cr-CrN过渡层对CrWN涂层耐磨性能的影响,制备具有良好的减磨耐磨性能的CrWN涂层.采用等离子增强磁控溅射工......
目的 探究氮气退火环境下不同W含量CrWN涂层微结构、纳米硬度及热稳定性能的演变规律.方法 采用等离子增强磁控溅射技术,制备不同W......
纳米复合涂层在工业生产中的应用很多,如汽车零部件,刀具,模具,各种发动机、涡轮机叶片,光学玻璃,耐高温,耐腐蚀和耐疲劳等领域。本文采用......
介绍了等离子增强磁控溅射(PEMS)技术,系统研究了其制备的Ti—Si—C—N纳米复合膜层。首先讨论该技术工作原理,并描述了膜层的制备工艺......