箱法扩散相关论文
硅固态平面扩散源是七十年代出现的一种新的扩散技术,由于它具有均匀的扩散浓度,好的重复性和大大提高劳动生产率的优点,特别是随......
理论计算给出了带盖砂磨石英箱内扩散源蒸汽的泄漏率和箱子容积、缝隙宽度,蒸汽分子在缝隙中运动的相互关系。实验证实了ZnP_2作为......
zn在AlGaAs和GaAs中开管箱法扩散这一新方法已经发展起来。在700℃时,Zn在GaAs和Al_xGa_(1-x)(0.1≤X≤0.5)中的扩散深度和质量与......
本文叙述了硼微晶玻璃片(国外简称为 Boron~(+TM),国内简称为PWB)在硅微波低噪声浅结平面型晶体管扩散工艺中的使用方法和系统的几......
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