类石墨碳膜BO膜相关硕士博士期刊学术论文

该论文研究重点是离子束辅助沉积(IBAD)类石墨碳膜和BO膜.研究表明离子束溅射可获得以SP结构为主的高硬度低摩擦系数碳膜.为提高碳......