紫外光化学汽相淀积相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

紫外光化学汽相淀积相关论文

光辅助超高真空CVD系统制备SiGe异质结双极晶体管研究

介绍了采用紫外光化学汽相淀积(UVCVD)、超高真空化学汽相淀积 (UHVCVD)和超低压化学汽相淀积 (ULPCVD)技术研制的化学汽相淀积 (C......

期刊

紫外光化学汽相淀积超高真空化学汽相淀积超低压化学汽相淀积异质结硅锗材料双极晶体管 UHV(Ultra High Vacuum) UV(Ultravio

看过本文同时还关注