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LMBE法异质外延β-Ga2O3薄膜及其紫外和发光特性的研究
采用激光分子束外延法在蓝宝石衬底上异质外延β-Ga2O3薄膜。研究了氧分压对薄膜表面结构和结晶程度的影响,结果表明β-Ga2O3薄膜的......
期刊
β-Ga2O3薄膜
氧分压
紫外透射
光致发光
禁带宽度
β-Ga2O3 film
oxygen partial pressure
ultraviolet
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