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纳尺度真空间隙相关论文
基于FIB-SEM双束系统的纳尺度真空间隙电学特性原位实验装置
纳米尺度真空电气击穿与绝缘特性研究是高电压与绝缘技术领域的前沿课题。一方面,随着微纳尺度加工技术的不断发展,电气部件和电子......
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FIB-SEM双束系统
纳尺度真空间隙
电气击穿
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FIB-SEM dual-beam system
nanoscale vacuum gap
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