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纳米尺度多晶硅线条相关论文
纳米尺度多晶硅微结构刻蚀研究
以HBr作为刻蚀气体,采用ICP金属刻蚀系统对气体流量、刻蚀压力、离子源功率、偏压功率等工艺参数与刻蚀速率、刻蚀选择比和侧壁垂......
期刊
ICP刻蚀系统
刻蚀速率
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刻蚀形貌
电子束光刻
纳米尺度多晶硅线条
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