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采用螺旋波等离子体化学气相沉积技术(HWP-CVD)以SiH4、CH4和H2为反应气体在Si(100)和康宁玻璃衬底进行了纳米SiC薄膜沉积.傅立叶......
本文研究了低成本大面积丝网印刷在玻璃衬底上均匀的纳米碳化硅(Nano-SiC)薄膜的场致发射特性。提出了机械分散团聚的Nano-SiC的方......
碳化硅(SiC)具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速度大等优越特性,使其在蓝绿色发光二极管、紫外光电探测器、大......
CVD金刚石薄膜是一种具有高硬度、高弹性模量、高热导率、高化学稳定性、低摩擦系数和低热膨胀系数等诸多优异性能的超硬多功能材......
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