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纳米级厚度相关论文
纳米级厚度金属薄膜表面反射光相位变化测量
本文以相移干涉技术和原子力显微镜对纳米量级厚度金属薄厚的测量结果为研究对象,分析了不同厚度的AL,Au薄膜表面反射光的相位变化量......
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相移干涉
原子力显微镜
纳米级厚度
薄膜材料
反射光相位
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