纳米级微进给平台相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

纳米级微进给平台相关论文

基于有限元分析的纳米级微进给平台设计

设计了一种利用弹性铰链作为预紧机构、高精度滚动导轨作为导向机构的单 PZT驱动的微进给平台.利用有限元方法对微进给平台的结构......

期刊

有限元分析弹性铰链预紧机构导向机构静态刚度动态刚度纳米级微进给平台 PZT驱动器 micro positioning work piece tabl

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