近年来,光学自由度和机械自由度之间的耦合不断地吸引着广大科研人员的关注,因此,光力系统一直都是一个研究的热点。随着现代纳米......

特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构。本文研究了几种基于MEMS技术的纳米梁的制造技术，利用MEMS技术中材料和工......

碳纳米管是目前纳米电子学领域研究最为广泛的材料。由于其优越的电学性能和力学性能，是纳电子机械系统最合适的构建材料。碳纳米管......

石墨烯作为新型的纳米材料,具有优异的力学和电学特性,从而成为最为适合NEMS(Nano-Electromechanical system)器件研究的理想材料......

分析了厚度分别为12nm和38.5nm的悬臂梁式硅纳米谐振器内由海森堡不确定原理所决定的零点位置不确定度,分析结果表明,零点位置不确......

石墨烯及单层过渡金属硫化物等二维材料具有质量轻、厚度薄和品质因子高等特点,这使得基于这类二维薄膜材料的纳米机械谐振器得到......

特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺......

中国科学院院士、中国科学技术大学教授郭光灿率领的中科院量子信息重点实验室，在纳米机电系统（NEMS）方面取得新进展。该实验室教授郭......

本文提出了表面吸附作用下纳米谐振器的非线性参激振动模型来预测由细胞吸附在纳米悬臂梁而引起的动力学特性变化。在无标记的原位......