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纳米集成电路制造相关论文
纳米集成电路制造中的CMP
总结了化学机械抛光技术在当前纳米集成电路工艺流程中的实际应用,分析了存在的问题和挑战,以及CMP的发展趋势;同时充分评估了CMP......
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化学机械抛光
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