纳米非晶硅薄膜相关论文
采用射频等离子体化学气相沉积技术(RF-PECVD)在单晶硅片衬底上制备了镶嵌有纳米非晶硅颗粒的氮化硅薄膜.实验表明:制备的氮化硅薄......
采用RF-PECVD系统在SOI材料上制作α-Si:H TFT,纳米非晶硅薄膜厚度为98nm,沟道长宽比为10μm/40μm。用扫描电子显微镜、X射线衍射......
