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纳米颗粒残留相关论文
铜化学机械抛光中复合缓蚀剂的作用机制
将复合缓蚀剂(苯并三氮唑(BTAH)和十二烷基磺酸钠(SDS))应用到铜的化学机械抛光液中,考察BTAH和SDS对铜表面化学机械抛光的影响,并探讨BTAH......
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复合缓蚀剂
化学机械抛光
纳米颗粒残留
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