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蓝宝石非接触超声纵扭振抛光系统设计与实验研究
蓝宝石材料由于其具有耐磨损、抗腐蚀和光学性能好等特点而被广泛应用于半导体、电子、医疗和航空航天等领域,并且全球市场规模逐......
学位
压电超声
纵扭振系统
超声抛光
非接触
蓝宝石材料
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