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经过氮化的栅氧化物相关论文
覆盖Si3N4层和栅氧化物氮化对晶体管的影响
研究了在各种各样的晶体管中高于最低限度的坡面外层上覆盖硅氮化物和栅氧化物被氮化的影响,同时制作出具有高、低压晶体管的硅晶......
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