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ZnO:Li薄膜压电式压力传感器研究
针对电子血压计和制氧机的动态压力测量(0~100 kPa),结合ZnO:Li薄膜d31和d33两种压电工作模式,本文基于MEMS技术给出两种压电式压力传......
学位
ZnO
压电式压力传感器
压敏特性
MEMS技术
结构仿真模型
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