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近年来在微位移驱动和测量中随着压电驱动器的广泛应用,压电驱动电源越来越受到重视。在确定压电驱动器后,驱动系统的位移精度和分辨......
利用有限元法对模拟能动薄主镜的两块变形反射镜拟合象并模式的能力进行计算,并进行了象并拟全实验,计算结果与实验结果相符。......