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脉冲磁过滤阴极弧沉积中基片台悬浮电位研究
通过测量脉冲磁过滤阴极弧等离子体沉积系统中的基片台悬浮电位,发现了弧源接地方式对基片台悬浮电位与等离子体电位影响很大.当阳......
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脉冲磁过滤
阴极弧
沉积
基片台悬浮电位
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基片偏压
Cathode arc Substrate floating potential P
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