报道 COIL激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验。在真空镀膜机内制备了膜系Sub/ Ag( Si O2 / Hf O2 ) 4/ air和 Sub/ Ag( Yb F3 ......

报道ＣＯＩＬ激光用变形反射镜的介质反射多层膜实验。在真空镀膜机内制备了膜系Ｓｕｂ／Ａｇ（ＳｉＯ２／ＨｆＯ２）＾４／ａｉｒ和Ｓｕｂ／Ａｇ（ＹｂＦ３／ＺｎＳ）＾３／ａｉｒ，反射率分别为９９．９０％和９９．８７％。在经历１０＾９次循环后变形镜物理特性无变化。......