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基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究
可调谐光学滤波器是现代光通信系统和传感器网络的关键器件,利用微机电系统(MEMS)技术的法布里—珀罗(Fabry-Perot)腔可调光学滤波......
学位
F-P干涉仪
微机电系统
可调光学滤波器
自由谱域
介质薄膜
基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器研究
分析了基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器的基本结构和调谐原理,从理论和试验这个方面对可调谐滤波器的重要参数进行分析和测试。研究结......
期刊
MEMS
F-P腔
可调谐滤波器
自由谱域
插入损耗
FWHM
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